wasco压力开关uc8-凯发旗舰厅

压力开关

wasco压力开关uc8

  • 品  牌:wasco
  • 型  号:uc8
  • 技术资料:
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uc8 系列采用 wasco 专有的制造方法和 eigiloy 隔膜。它具有高纯度和高耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的选择,精度高,公差小。我们设计的 uc8 系列适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境。uc8 系列的额定 95b2 应用周期超过 2,000,000 次。uc8 系列可提供满足或超过 semi f20 uhp 要求的材料选项。根据 semi f1,所有开关的氦气泄漏测试均达到≤ 1 x 10-9 std cc/sec。

适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境

额定 95b2 应用周期超过 2,000,000 次

经过氦气泄漏测试

符合 semi f1 标准

泄漏量≤1 x 10-9 std cc/sec

uc8-a:激活点范围:50 至 1500 torr(abs压力)

uc8-g:激活点范围:2 至 20 psig 压力表压力

可提供符合或超过 semi f20 uhp 要求的材料选项

可提供其他激活范围

可提供更高的压力

产地:美国

激活点范围:50 至 1500 torr(abs压力)

复位带:40 torr 启动点的 6 %(典型值)

激活点公差:± 15 torr 2 %激活点(典型值)

耐压:100 psig

爆破压力:min 1000 psig

润湿元件

工艺接口:316l ss semi f20 uhp 兼容

隔膜:埃尔吉洛伊elgiloy

内表面处理:5 ra

预期寿命:≥ 2,000,000 次 95b2(取决于应用情况)

防护等级:ip 67(abs配置)

泄漏率:氦气泄漏测试 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作温度:-20至 60 ℃(-4至 140 °f)

非操作温度:-40至 100 ℃(-40至 212 °f)

气箱、igs 配气盘、配气系统、阀组箱体、蚀刻和沉积系统


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