wasco真空传感器barracuda-凯发旗舰厅

真空计、真空传感器

wasco真空传感器barracuda

  • 品  牌:wasco
  • 型  号:barracuda
  • 技术资料:
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wasco的barracuda系列高纯度(uhp)传感器专为在苛刻的市场应用中需要检测腐蚀性介质的应用而设计。这些传感器非常适合检测气体或液体介质,而不会对过程介质造成污染。该系列非常适合要求在高精度、严格公差应用中检测腐蚀性介质的系统。

我们为下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境设计了这些传感器。梭鱼系列的额定应用周期超过10,000,000。梭鱼拥有满足或超过semi f20 (uhp)的材料,临界点蚀温度性能> 35℃。所有传感器都经过氦泄漏测试,达到每semi f1≤1 x 10-9标准立方厘米/秒氦。

煤气箱

igs气体面板

气体分配系统

阀门歧管箱

蚀刻和沉积系统


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